メーカー：OLYMPUS
型番：MX50L-TF
買取価格：250,000円
※買取価格は一例です。構成・オプション・経年等によって価格変動いたします。
「BX51TF」は、オリンパスから提供された8インチ（200ｍｍ）ICウエハー検査用(落射・透過照明兼用)顕微鏡です。「BX51TF」は、「MX50」シリーズの姉妹機です。オリンパスより1996年から販売されている、「MX50L」シリーズの200mm半導体ウェハ検査顕微鏡の標準機となっています。
光学性能は世界レベルでオリンパス独自のUIS光学系(無限遠補正光学系)が採用されています。高解像、高コントラストが得られます。さらに、オプションのコンフォーカルユニットとの組合わせることで0.18μｍのデザインルールのデバイス検査としての可能性が広がります。
また、使いやすく、疲労を軽減させつつ検査効率も向上しています。前面に操作部が配置され、手前にレールガイドの突き出しをなく操作性をより重視された構造になっています。また、透過照明コンデンサが採用されていますので、9mm厚のフォトマスクもとてもクリアに観察できます。観察対象の半導体マスクやFPD検査などいろいろな場面で対応できます。
